案例分享 | 昆山金斗云测控助力芯片半导体行业完成涡轮分子泵动平衡校正
产品描述
在半导体行业的生产过程中，涡轮分子泵被广泛应用于真空工艺环节。这类设备的特点是转速极高，可达9万转/分钟，对转子平衡精度的要求远高于一般工业设备。一旦转子不平衡，将直接带来振动过大、轴承损伤、噪音上升等问题，甚至影响整条生产线的工艺稳定性。
近期，我司昆山金斗云测控接到一位芯片半导体客户的需求：某型号涡轮分子泵运行时出现明显异常振动，影响了真空环境的稳定。客户希望通过动平衡校正，在不影响长期生产的前提下，快速恢复设备的运行精度。
涡轮分子泵校正数据
设备与工具：瑞典VMI X Balancer+现场动平衡仪
本次案例中，我们采用的是瑞典VMI X Balancer+现场动平衡仪。作为VMI的核心产品之一，X Balancer+具备以下特点：
便携式设计：适合在现场快速开展动平衡校正。
高精度采样：可满足高速旋转设备（如9万转分子泵）的诊断需求。
双通道测量：能够同时对振动和相位进行精确采集，保证校正数据的可靠性。
值得一提的是，我司昆山金斗云测控是瑞典VMI在国内的总代理，因此能够提供全系列VMI进口仪器及专业技术支持，确保客户获得匹配需求的解决方案。
校正过程：分步骤实施，确保数据可靠
现场诊断
工程师首先对分子泵进行初步振动检测，确认主要振动频率集中在转子不平衡位置。
动平衡测试
使用X Balancer+进行试重测试，在确保安全条件下逐步加重，采集转子振动与相位变化情况。
数据分析
通过软件分析计算，得到最佳配重位置与重量，确保校正效果能够覆盖高转速运行下的动态特性。
实施校正
工程师在设备上安装计算出的配重，并再次测试运行状态，确认振动显著下降。
校正结果：稳定性与可靠性大幅提升
校正完成后，客户现场重新启动分子泵。测试数据显示：
振动幅值明显降低，远低于原始水平；
设备运行声音趋于平稳；
真空工艺保持稳定，为后续工序提供了可靠保障。
客户反馈表示，通过本次动平衡校正，不仅解决了生产过程中突发的异常问题，还避免了因停机维修而造成的高额损失。
昆山金斗云测控的优势
作为瑞典VMI仪器国内总代理，昆山金斗云测控不仅能提供X Balancer+、Viber Balancer、Viber X5等多款动平衡与振动分析设备，还拥有超过20年的工程师现场经验，能够快速响应客户需求。我们的服务范围涵盖：
各类高速旋转机械动平衡校正；
振动分析与故障诊断；
激光对中、红外检测等综合解决方案；
技术培训与长期维保服务。
本案例展示了在半导体行业9万转涡轮分子泵动平衡校正中的实际应用。凭借瑞典VMI X Balancer+现场动平衡仪的高精度和昆山金斗云测控工程师的丰富经验，我们帮助客户高效解决了设备振动问题，保障了生产的连续性与稳定性。
未来，昆山金斗云测控将继续秉承专业、可靠的服务理念，助力更多行业客户实现设备的高效与稳定运行。
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