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江苏某半导体集团---光刻机地面防微振动检测服务

新闻中心/News

江苏某半导体集团---光刻机地面防微振动检测服务

2017/05/27
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光刻机被称之为全球最精密的高端半导体设备,精度达到纳米级。对于地面的振动要求极高,客户为了能够准确判断所以制作的减震平台是否符合VC防微振动标准,经过多家振动仪器销售厂家的考察,最终选定了金斗云检测的团队进行现场检测。市面上很多振动仪的精度是达不到VC防微振动标准的,振动值有很大精度偏差。瑞典原装进口CXBalancer分辨率可达到0.001gal、0.0001mm/s RMS,完全符合客户要求。振动分析仪精度满足的同时,对于振动分析师的技术水平要求也是极高的,测量位置的选择、仪器参数的设置等只要稍微有偏差都会影响精度的可靠性。客户收到我司振动分析报告后非常认可,并高度赞扬我司振动分析师的技术水平,我司振动分析师具有15年以上振动分析经验且具有ISO18436-2国际注册振动分析师资质。