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半导体行业光刻机机台的振动问题-Viber X5

应用案例/Case

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半导体行业光刻机机台的振动问题-Viber X5

高端光刻机是世界上最精密的仪器,对振动的要求非常高。
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产品描述

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种,精度为七纳米至几微米之间,高端光刻机是世界上最精密的仪器,对振动的要求非常高。瑞典VMI viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为VC微振动标准,VC微振动标准分为:VC-AVC-BVC-CVC-DVC-EVC-FVC-G。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足CV-D 6.25um/s RMS以下。全球最知名的光刻机制造商荷兰ASML要求洁净室的楼板及机台振动必须符合VC-D标准才能实施装机,某知名半导体制造商使用瑞典VMI viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集,发现洁净室楼板的振幅只能满足VC-C12.5um/s RMS,无法满足CV-D 6.25um/s RMS。通过瑞典VMI viber-x5振动分析仪的频谱分析功能,发现了振动超标的频率并成功找到振动源,经过瑞典VMI振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。

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