半导体行业光刻机机台的振动问题-Viber X5

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种，精度为七纳米至几微米之间，高端光刻机是世界上最精密的仪器，对振动的要求非常高。瑞典VMI viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为VC微振动标准，VC微振动标准分为：VC-A、 VC-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足CV-D 6.25um/s RMS以下。全球最知名的光刻机制造商荷兰ASML要求洁净室的楼板及机台振动必须符合VC-D标准才能实施装机，某知名半导体制造商使用瑞典VMI viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集，发现洁净室楼板的振幅只能满足VC-C12.5um/s RMS，无法满足CV-D 6.25um/s RMS。通过瑞典VMI viber-x5振动分析仪的频谱分析功能，发现了振动超标的频率并成功找到振动源，经过瑞典VMI振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。